高效过滤器的检漏通常采用DOP法，采用PAO气溶胶发生器，在过滤器上游发尘，使用光度计检测过滤器上下游气溶胶的浓度来判定过滤器是否有泄露。使用气溶胶发生器发尘（发烟）是因为高效过滤器的上游尘埃粒子浓度较低，仅使用粒子计数器在不发尘的情况下很难发现有泄露，需要补充发尘才能比较容易发现泄露。

人工气溶胶DOP存在已经近40多年历史，由于一段时间以来，因被怀疑对人有致癌作用，现常以PAO(polyaphaolefin聚a烯烃）等代替，但实验方法仍称“DOP法”。FDA指出在进行检漏时环氧乙烷报警器，选用的气溶胶应符合一定的理化要求，不应使用会引起微生物污染、造成微生物滋生的气溶胶。PAO是一种无毒、无味的溶液，具有非致癌性，因此用PAO代替DOP用于高效过滤器的测试。

PAO气溶胶发生器即产生烟雾的装置可分为热发型和冷发型两种，DOP溶剂（或PAO溶剂）倒入发生器容器后尘埃粒子计数器，热发生器是利用蒸发冷凝的原理，被雾化的气溶胶粒子用加热器蒸发，并在特定条件下冷凝成微小液滴尘埃粒子计数器，去掉过大和过小的液滴后留下0.3um左右的状DOP进入风道，粒径分布在0.1～0.3um。冷发生器是指利用压缩空气在液体中鼓气泡，经laskin喷管飞溅产生物态的多分散相DOP气溶胶，最大分布粒径在0.65um左右。在对过滤器进行扫描检漏时，经常使用冷发型DOP法. 常用的检测仪器有两种，一种是气溶胶光度计，另一种是尘埃粒子计数器。高效过滤器检漏中常用的检测仪器是气溶胶光度计（以下简称光度计），是一种前散射线性光度计，它由真空泵、光散射室、光电倍增管、信号处理转换器和微处理器等组成。其工作原理是：当气流被真空泵抽至光散射室时，其中的颗粒物质散射光线至光电倍增管。在光电倍增管中，光被转换成电信号，此信号经放大和数字化后由微处理器分析，从而测定散射光的强度。通过与参比物质产生的信号的对比尘埃粒子计数器，可以直接测量气体中颗粒物质的质量浓度，因此其用途十分广泛。而粒子计数器，它的测试值反映的是气流中粒子个数的浓度，并规定粒径范围，其灵敏度较高，对所有尘源气溶胶适用，选择余地较大，但在高效过滤器检漏中较少使用，两种仪器测试结果难以定量对比。

气溶胶发生器及气溶胶光度计是用来检测高效过滤器泄漏效率的。将气溶胶发生器与气溶胶光度计组合使用，过滤器的缺陷，如针孔，漏点，垫片泄漏，内泄漏，或边框泄漏均可以快速的被检测出来，进行及时纠正和采取相关措施甲苯检测仪，从而保证高效过滤器的效率和超净间的洁净度等级。

DOP检漏的材料、仪器有：发烟物质（PAO溶剂）、气溶胶发生器、气溶胶光度计。

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