无尘室产生的氮氧化物

保护环境与健康一向是高科技产业关心的课题。所有企业在面对有必要的情况下都会尽可能持续改进其生产流程。举例而言氮氧化物，在现代废弃物处理技术的支持下，科技业最近已经停止将有害物质排放到大气。戴思DAS Environmental Expert的环境专家正研发各种解决方案来致力降低工厂未来排放气体所含的氮氧化物。一般用作为保护气体的氮氧化物，在正常条件下具有极高的惰性，不过在温度升高时则会形成热力型氮氧化物(thermal NOx)。如图1所示，这方面主要会影响负责处理蚀刻工艺产生的全氟化合物的焚化厂。反应炉中分解全氟化合物所需的高温，会因替代效应促使生成氮氧化物。此外，半导体产业需要用到氮来分离氮化物层氮氧化物，如化学气相沉积工艺中通常会运用一氧化氮来生成氮氧化层。三氟化氮(NF3) 不只用于微电子制造，还会用在薄膜屏幕与薄膜太阳能电池制作工艺中以清洗化学气相沉积的反应室氯气报警器，此外还有生产晶态硅太阳能电池中所用到的阿摩尼亚(NH3)。这些残留的氮化合物若没有进行化学反应，就会借由其他工艺气体的热量进行分解氮氧化物油漆检测仪，从而成为排放废气中氮氧化物的来源，而这也构成了燃料氮氧化物(fuel NOx)生成机制的基础。

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