电子级六氟化硫

分子式：SF6

分子量：146.05

项 目

国 标

GB/T18867-2014

六氟化硫(SF6)含量（体积分数）/10-2 ≥

99.999

（氧+氩）（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6 ≤

2.0

氮（N2）含量（体积分数）/10-6 ≤

2.0

四氟化碳(CF4)含量（体积分数）/10-6 ≤

1.0

一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 ≤

0.5

二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 ≤

0.5

甲烷(CH4) 含量（体积分数）/10-6 ≤

0.5

水分(H2O)的（体积分数）/10-6 ≤

3.0

酸度（以HF计）的质量分数/10-6 ≤

0.1

可水解氟化物（以HF计）的质量分数/10-6 ≤

0.8

杂质综合的体积分数/10-6 ≤

10

颗粒

由供需双方商定

性状：

常温常压下为液态氢气检测仪，它是一种无色、无臭、无毒、无腐蚀性的气体。熔点-50℃，升华点或沸点为-63.8℃六氟化硫，气体密度6.16g/L(20℃，0.1MPa)，在熔点时密度为2.51g/cm3六氟化硫，具有高的绝缘性和灭弧能力。

用途：

六氟化硫﹙SF6﹚是一优良的惰性绝缘气体六氟化硫，电子工业用六氟化硫气体大量用于在电子器件表面清洗、在TFT行业中应用量大。

贮存：

应存放于阴凉干燥、通风良好的地方。

运输：

长途运输时应附有GB19-73《危险货物包装标志》中指定标志。气瓶充装系数不大于1.33kg/L。

包装：

SF6应充装在洁净、干燥的无缝高压气瓶中，气瓶容积一般为40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可以根据用户需要选用各种容积的气瓶或其他容器。（一般情况下，使用气瓶公称压力为15Mpa时煤气检测仪，充装系数＜1.37ka/L。﹚

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