电子级六氟化硫
分子式:SF6
分子量:146.05
项 目
国 标
GB/T18867-2014
六氟化硫(SF6)含量(体积分数)/10-2 ≥
99.999
(氧+氩)(O2+Ar)含量(体积分数)/10-6 ≤
2.0
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 ≤
2.0
四氟化碳(CF4)含量(体积分数)/10-6 ≤
1.0
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 ≤
0.5
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 ≤
0.5
甲烷(CH4) 含量(体积分数)/10-6 ≤
0.5
水分(H2O)的(体积分数)/10-6 ≤
3.0
酸度(以HF计)的质量分数/10-6 ≤
0.1
可水解氟化物(以HF计)的质量分数/10-6 ≤
0.8
杂质综合的体积分数/10-6 ≤
10
颗粒
由供需双方商定
性状:
常温常压下为液态氢气检测仪,它是一种无色、无臭、无毒、无腐蚀性的气体。熔点-50℃,升华点或沸点为-63.8℃六氟化硫,气体密度6.16g/L(20℃,0.1MPa),在熔点时密度为2.51g/cm3六氟化硫,具有高的绝缘性和灭弧能力。
用途:
六氟化硫﹙SF6﹚是一优良的惰性绝缘气体六氟化硫,电子工业用六氟化硫气体大量用于在电子器件表面清洗、在TFT行业中应用量大。
贮存:
应存放于阴凉干燥、通风良好的地方。
运输:
长途运输时应附有GB19-73《危险货物包装标志》中指定标志。气瓶充装系数不大于1.33kg/L。
包装:
SF6应充装在洁净、干燥的无缝高压气瓶中,气瓶容积一般为40L、12.5L、10L、8L、4L等,也可以根据用户需要选用各种容积的气瓶或其他容器。(一般情况下,使用气瓶公称压力为15Mpa时煤气检测仪,充装系数<1.37ka/L。﹚
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