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检测仪知识百科

电子级六氟化硫
发布时间:2021-03-28 17:03浏览次数:

电子级六氟化硫

分子式:SF6

分子量:146.05

项 目

国 标

GB/T18867-2014

六氟化硫(SF6)含量(体积分数)/10-2 ≥

99.999

(氧+氩)(O2+Ar)含量(体积分数)/10-6 ≤

2.0

氮(N2)含量(体积分数)/10-6 ≤

2.0

四氟化碳(CF4)含量(体积分数)/10-6 ≤

1.0

一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 ≤

0.5

二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 ≤

0.5

甲烷(CH4) 含量(体积分数)/10-6 ≤

0.5

六氟化硫_氟化亚锡氟化钠_氰化钠要用双氧水或硫代硫

水分(H2O)的(体积分数)/10-6 ≤

3.0

酸度(以HF计)的质量分数/10-6 ≤

0.1

可水解氟化物(以HF计)的质量分数/10-6 ≤

0.8

杂质综合的体积分数/10-6 ≤

10

颗粒

由供需双方商定

性状:

常温常压下为液态氢气检测仪,它是一种无色、无臭、无毒、无腐蚀性的气体。熔点-50℃,升华点或沸点为-63.8℃六氟化硫,气体密度6.16g/L(20℃,0.1MPa),在熔点时密度为2.51g/cm3六氟化硫,具有高的绝缘性和灭弧能力。

用途:

六氟化硫﹙SF6﹚是一优良的惰性绝缘气体六氟化硫,电子工业用六氟化硫气体大量用于在电子器件表面清洗、在TFT行业中应用量大。

贮存:

应存放于阴凉干燥、通风良好的地方。

运输:

长途运输时应附有GB19-73《危险货物包装标志》中指定标志。气瓶充装系数不大于1.33kg/L。

包装:

SF6应充装在洁净、干燥的无缝高压气瓶中,气瓶容积一般为40L、12.5L、10L、8L、4L等,也可以根据用户需要选用各种容积的气瓶或其他容器。(一般情况下,使用气瓶公称压力为15Mpa时煤气检测仪,充装系数<1.37ka/L。﹚

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