纯净的SF6气体是无色、无味、无毒、不燃的惰性气体，其自身的分解温度大于500℃，在正常运行的情况下分解产物极少，但与金属材料共存时六氟化硫，在200℃时就有可能发生微量分解。作为气体绝缘组合电器（GIS）的绝缘介质，六氟化硫(SF6)气体具有优良的绝缘和灭弧性能甲醇检测仪，可以大大减小设备尺寸六氟化硫，因此广泛应用于GIS和SF6断路器等设备中。实际上使用中的SF6气体总含有一定量的空气、水分,六氟化硫，由于上述分解生成的多种低氟硫化物很活泼，即与 SF6 气 体中的微量水分和氧气等发生反应。由于SF6分解物与水分结合生成的HF .H2S .CO .SO2等化合物，均对设备内其他绝缘及金属材料有强腐蚀作用，进而加速绝缘劣化，最终导致设备发生突发性故障。而GIS设备在安装与运行过程中，由于GIS内部缺陷如电极表面毛刺、自由导电微粒、悬浮导体等造成局部放电或过热等问题。

六氟化硫气体电气设备的绝缘材料经电晕、火花及电弧放电作用新型气体报警器，还会产生多种有毒、腐蚀性气体及固体分解产物。这些气体主要有氟化亚硫酰（SOF2）、氟化硫酰（SO2F2）、四氟化硫（SF4）、四氟化硫酰（SOF4）、二氧化硫（SO2）、十氟化二硫（S2F10）、一氧十氟化二硫（S2F10O）等；固体分解产物主要有氟化铜（CuF2）、二氟二甲基硅［Si（CH3）2 F2］、三氟化铝（AlF3）粉末等。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板（棒、管）等绝缘件；或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，还会生成SiF4、Si（CH3）2F2等产物。

六氟化硫气体电器设备内的六氟化硫气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板（棒、管）等绝缘件；或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等产物。

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