六氟化硫SF6

1.别名·英文名

Sulfur hexafluoride、Sulfur fluoride．

2.用途

电子设备、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等的气绝缘体，制冷剂六氟化硫，示踪装置，医疗，半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气，检漏气体，色谱仪的载气。

3.制法

在高温下硫和氟反应制得。

S+3F2→SF6

4.理化特性

分子量： 146.054

熔点(224kPa)： -50.8℃

升化点(101.325kPa)： -63.7℃

液体密度(-50.8℃)： 1880kg/m3

气体密度(0℃，101.325kPa)： 6.52kg/m3

相对密度(气体，空气=1六氟化硫，20℃，101.325kPa)：5.114

比容(21.1℃，101.325kPa)：0.1516m3/kg

临界温度： 45.5℃

临界压力： 3759kPa

临界密度： 736kg/m3

压缩系数：

温度

压缩系数

100kPa

1000kPa

2000kPa

3000kPa

15

0.9886

0.8656

50

0.9926

0.9137

0.8113

0.6760

熔化热(222.35K，224kPa)： 34.38kJ/kg

气化热(-63.8℃，101.325kPa)： 161.61kJ/kg

比热容(气体，25℃有毒气体检测仪，101.325kPa)：CP=665.18J/(kg·K)

(液体，225K)： C=759.14J/(kg·K)

蒸气压(-20℃)： 680kpa。

(0℃)： 1250kPa

(30℃)： 2680kPa

粘度(101.325kPa，0℃)：0.0142mPa·S

(液体甲苯报警器，229.85K)：0.500mPa·S

表面张力(-50℃)： 11.63mN/m

导热系数(101.325kPa，0℃)：0.01206W/(m·K)

折射率(气体，0℃，101.325kPa)： 1.000783

六氟化硫在常温常压下为无色无臭无毒的气体。不燃烧。对热稳定，化学性质不活泼。在500℃以上赤热状态下也不分解，在800℃以下很稳定。在250℃时与金属钠反应。没有腐蚀性，可以用通用材料，不腐蚀玻璃。电绝缘性能和消弧性能好，绝缘性能为空气的2～3倍，而且气体压力越大，绝缘性能越增高。药物学性质不活泼，没有毒。微溶于水，在酒精和醚中溶解的比在水中多一些。不溶于盐酸和氨。水中的溶解度为：5.4cm3SF4/kgH2O(SF6分压101.325kPa，25℃)。介电常数为：1002049(气体，101.325kPa，25℃)。在21.1℃时S.P.为2308kPa。

5.毒性

最高容许浓度：10ppm(12mg/m3)

六氟化硫在生理学上是不活泼的六氟化硫，在药理学上认为是惰性气体。但是当含有SF4等杂质时便变成有毒物质。当吸入高浓度SF6时可出现呼吸困难、喘息、皮肤和粘膜变蓝、全身痉挛等窒息症状。

6.安全防护

用气装置可用肥皂液检漏。SF6无腐蚀性，可以使用不锈钢、铜、铝等通用材料。发生火灾时可用水和砂土灭火。泄漏的气体，可导入苛性钠和消石灰的混合溶液中处理，或者把泄漏的气瓶放入通风橱内。

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